Forno termoprocesso a più tubi (MTPF) per ossidazione e LPCVD nell'area di pulizia PSI PICO
Descrizione
Bei der zu beschaffende Anlage handelt es sich um einen Mehrrohr-Thermoprozessofen (MTPF), der für die Abscheidung von Materialien für Quanten-, Photonik- und Röntgenanwendungen der Gruppen in den Laboren LNQ und LXN sowie für alle Nutzer der PSI-Reinräume unerlässlich ist. Der MTPF sollte über eine...
Riepilogo AI
I documenti di gara definiscono i requisiti e le condizioni per l'acquisto di un forno per trattamento termico a tubi multipli (MTPF) per l'Istituto Paul Scherrer (PSI). La direttiva sottolinea l'importanza della sicurezza, della salute e della protezione ambientale (SGU) applicabili a tutto il pers...
- Il MTPF deve essere in grado di trattare fino a 50 wafer con diametro di 200 mm con alta uniformità e riproducibilità.
- Dovrebbe funzionare in modalità 24/7 con un tempo di attività garantito del 90% e includere una garanzia minima di 2 anni.
Panoramica dei rischi
- Disproportionate requirements1
- Mandatory consortium or partnership1
- High minimum insurance coverage1
- Overly tight deadlines1
- Restrictive language requirements1
- Any other SME obstacles1
Documenti del bando
25 documenti · 7.8 MB · PDF (11) · XLSX (8) · DOCX (6)
| Tipo | Pagine | Dimensione | Categoria | |
|---|---|---|---|---|
| 12 | 202 KB | appendix | ||
| xlsx | 2 | 27.3 KB | pricing | |
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| xlsx | 1 | 20.3 KB | Modulo | |
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Cronologia delle modifiche(3)
- ——
- Critico—
- Minore—
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Segnalazioni
6 segnalazioni identificate — Rischio complessivo: high
Requisiti finanziari
Specifiche tecniche
Documenti di gara
25 documenti disponibili
Storico modifiche
3 modifiche rilevate (1 critiche, 0 importanti)
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Informazioni sul committente
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- Ultima attività
- 4 giorni fa
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