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ICP3 Ionenätzanlage FIRST ETH Zürich

ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services Zürich Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) award unknown
Verfahren: unknown Auftragsart: unknown SIMAP-ID: bc0a3ccd Erstmals erfasst: 8. Apr. 2026 Letzte Publikation: 15. März 2025
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Beschreibung

Lieferung einer reaktiven Ionenätzanlage mit induktiv gekoppeltem Plasma, bestehend aus einem Gasversorgungssystem für mindestens 9 Gase, mit Prozessdruck bis 100 mtorr und Gasflüssen bis 500 sccm, RF/ICP-Generatoren im kW-Bereich mit Autotuning, spektroskopischer Überwachung des Plasmas, automatisc...

KI-Zusammenfassung

Die Ausschreibung betrifft die Lieferung einer reaktiven Ionen-Ätzanlage mit induktiv gekoppeltem Plasma. Die Anlage muss ein Gasversorgungssystem für mindestens 9 Gase umfassen, das Betriebsdrücke bis zu 100 mtorr und Gasflüsse bis zu 500 sccm ermöglicht. Es ist ein RF/ICP-Generator erforderlich, d...

  • Lieferung einer reaktiven Ionen-Ätzanlage mit induktiv gekoppeltem Plasma.
  • Gasversorgungssystem für mindestens 9 Gase.

Risikoübersicht

  • Requisiti sproporzionati1
  • Obbligo di consorzio o partnership1
  • Assicurazioni con massimali elevati1
  • Scadenze troppo strette1
  • Requisiti linguistici restrittivi1
  • Ostacoli generali per le PMI1

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Über den Auftraggeber

ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services
Zürich
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