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Dünnschicht-Cluster-Abscheidungssystem für das Sputtern von Metallen und Dielektrika

ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services Zürich Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) award unknown
Verfahren: unknown Auftragsart: unknown SIMAP-ID: f5338cbf Erstmals erfasst: 8. Apr. 2026 Letzte Publikation: 19. Nov. 2025
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Beschreibung

Dünnschicht-Cluster-Beschichtungsanlage für das Sputtern von Metallen und Dielektrika Clusteranlage mit einer Schleuse und 4 Prozesskammern (PCs) für das DC- und RF-Sputtern von Dielektrika und Metallen auf Halbleiter- und anderen Substraten. Details entnehmen Sie bitte unserer Spezifikation.

KI-Zusammenfassung

Die Ausschreibung betrifft den Erwerb einer Dünnschicht-Beschichtungsanlage für das Sputtern von Metallen und Dielektrika. Die Anlage muss eine Ladekammer und vier Prozesskammern umfassen, die für das DC- und RF-Sputtern auf Halbleiter- und anderen Substraten ausgelegt sind. Detaillierte technische ...

  • Anlage für das Sputtern von Metallen und Dielektrika.
  • Enthält eine Ladekammer und vier Prozesskammern.

Risikoübersicht

  • Requisiti sproporzionati1
  • Referenze1
  • Certificazioni1
  • Assicurazioni1
  • Scadenze1
  • Requisiti linguistici1
  • Obbligo di consorzio1

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