Mehrrohr-Thermoprozessofen (MTPF) für Oxidation und LPCVD im PSI PICO Reinraum
Beschreibung
Bei der zu beschaffende Anlage handelt es sich um einen Mehrrohr-Thermoprozessofen (MTPF), der für die Abscheidung von Materialien für Quanten-, Photonik- und Röntgenanwendungen der Gruppen in den Laboren LNQ und LXN sowie für alle Nutzer der PSI-Reinräume unerlässlich ist. Der MTPF sollte über eine...
KI-Zusammenfassung
Die Ausschreibungsunterlagen legen die Anforderungen und Bedingungen für die Beschaffung eines Multitube-Thermoprozessierofens (MTPF) für das Paul-Scherrer-Institut (PSI) fest. Die Richtlinie betont die Sicherheit, den Gesundheitsschutz und den Umweltschutz (SGU), die für alle Mitarbeiter am PSI gel...
- Der MTPF muss bis zu 50 Wafer mit einem Durchmesser von 200 mm mit hoher Homogenität und Reproduzierbarkeit verarbeiten können.
- Er sollte im 24/7-Betrieb arbeiten und eine garantierte Verfügbarkeit von 90 % aufweisen sowie eine Mindestgarantie von 2 Jahren beinhalten.
Risikoübersicht
- Disproportionate requirements1
- Mandatory consortium or partnership1
- High minimum insurance coverage1
- Overly tight deadlines1
- Restrictive language requirements1
- Any other SME obstacles1
Ausschreibungsunterlagen
25 Dokumente · 7.8 MB · PDF (11) · XLSX (8) · DOCX (6)
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| 12 | 202 KB | appendix | ||
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Über den Auftraggeber
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- vor 2 Tagen
Vergangene Zuschläge in dieser Kategorie
- Beschaffung Smart-Metering-System auf Basis einer Radio-Funk-Mesh-Kommunikation
Zuschlagsempfänger:CKW AG
CHF 795’990Aargau - Vakuuminfrastruktur für den Materials Innovation Cluster (MIC) am PSI
Zuschlagsempfänger:CreaTec Fischer & Co. GmbH, Erligheim/DE
CHF 420’600Aargau - Verbesserung der EDIPO-Testeinrichtung mit neuem Magneten
Zuschlagsempfänger:ASG SUPERCONDUCTORS SPA
Aargau - Triple Quadrupol-Massenspektrometer mit induktiv gekoppeltem Plasma
Zuschlagsempfänger:Agilent Technologies (Schweiz) AG
CHF 372’130Aargau - Nb3Sn-Stränge für die EDIPO 2-Magneten
Zuschlagsempfänger:Bruker EAS GmbH
Aargau
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